隨著電力電子器件市場(chǎng)對(duì)酸腐蝕硅片的需求量的增加，如何制備光澤度較好的酸腐蝕硅片越來(lái)越受到關(guān)注。為了準(zhǔn)確的測(cè)定酸腐蝕硅片光澤度，提升酸腐蝕硅片的外觀光澤品質(zhì)，滿足市場(chǎng)對(duì)酸腐蝕硅片光澤度測(cè)需求，就可以使用光澤度儀。本文介紹了光澤度儀在酸腐蝕硅片光澤度測(cè)定中的應(yīng)用。
酸腐蝕硅片光澤度要求：
硅單晶片的表面加工工藝一般分為研磨片、腐蝕片、拋光片等主要成型工藝，由于最終的使用目的不同，以上三種類型的硅片應(yīng)用在不同的領(lǐng)域；研磨片一般是在切片的基礎(chǔ)上雙面研磨50-70um，以去除切片時(shí)表面留下的線痕等缺陷；腐蝕片主要是去除研磨片加工時(shí)形成的損傷層，常規(guī)工藝一般去除30um，酸腐蝕片表面光澤度一般在80-120Gs；拋光片是為了改善腐蝕片的平坦性，通過機(jī)械化學(xué)拋光進(jìn)一步去除損傷層，使硅片表面達(dá)到鏡面效果，有較好的光澤度和較小的粗糙度。
近年來(lái)，有些產(chǎn)品對(duì)硅片表面光澤度要求越來(lái)越高，其主要是應(yīng)用硅片表面的鏡面效果；在聚焦時(shí)降低能耗，一些生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域制造芯片，以及能源領(lǐng)域的可控硅等用途，因腐蝕片很難達(dá)到較好鏡面效果，所以這些領(lǐng)域通常使用拋光片；拋光片有較高的表面平整度，較小的粗糙度，較好的鏡面效果；但拋光片對(duì)加工設(shè)備、加工環(huán)境和清洗方式、化學(xué)輔料等要求較高，相應(yīng)成本也會(huì)較大，這些領(lǐng)域使用拋光片不僅質(zhì)量過剩，而且增加了成本負(fù)擔(dān)。為了降低成本，提高硅片表面光澤度，提高工藝技術(shù)越來(lái)越迫切，隨著工藝技術(shù)進(jìn)步，酸腐片的表面光澤度的改善已經(jīng)得到顯著的提高，漸得到改善。為了準(zhǔn)確的測(cè)定酸腐蝕硅片光澤度，提升酸腐蝕硅片的外觀光澤品質(zhì)，就可以使用光澤度儀。
光澤度儀在酸腐蝕硅片光澤度測(cè)定中的應(yīng)用：
傳統(tǒng)酸腐蝕硅片光澤度的評(píng)定方法是通過目視法進(jìn)行評(píng)定，目視評(píng)定法屬于一種經(jīng)驗(yàn)評(píng)定方法，它是以實(shí)踐中積累的經(jīng)驗(yàn)，通過目視檢驗(yàn)來(lái)評(píng)定，往往受到檢驗(yàn)環(huán)境照度、檢驗(yàn)人員的視覺和經(jīng)驗(yàn)等因素影響，容易產(chǎn)生干擾而造成評(píng)定結(jié)果的誤差。為了更加準(zhǔn)確、客觀，且定量的評(píng)定酸腐蝕硅片的光澤度，我們就可以采用光澤度儀。
光澤度儀測(cè)量酸腐蝕硅片的光澤度一種采用光學(xué)法客觀測(cè)量的方式，它可以有效的避免因?yàn)橛^察者主觀原因?qū)е碌墓鉂啥仍u(píng)定的誤差；并且以數(shù)值的方式呈現(xiàn)，用戶可以更加輕松的判定酸腐蝕硅片光澤度的差異。這里推薦使用三恩時(shí)YG268光澤度儀。YG268是一款高精度光澤度計(jì)，是參照國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO2813和中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T9754設(shè)計(jì)制造的光澤度測(cè)量?jī)x器，具有自動(dòng)檢查校正標(biāo)準(zhǔn)板的功能，配有高端品質(zhì)管理軟件，滿足JJG696一級(jí)工作光澤度計(jì)要求。具體的測(cè)量方法如下：
1.儀器開機(jī)
通常我們的光澤度測(cè)試儀開機(jī)鍵就是測(cè)量鍵，長(zhǎng)按測(cè)量鍵就可以開機(jī)！
2.儀器校準(zhǔn)
（1）標(biāo)準(zhǔn)板有污損，請(qǐng)用專用鏡頭布把標(biāo)準(zhǔn)板擦干凈，然后把主機(jī)扣入底座。
（2）主機(jī)未緊貼標(biāo)準(zhǔn)板，請(qǐng)重新扣入底座。
（3）環(huán)境溫度發(fā)生重大變化，應(yīng)在儀器溫度與環(huán)境溫度趨于相近，并確認(rèn)儀器測(cè)試口內(nèi)的透鏡和底座的標(biāo)準(zhǔn)板沒有結(jié)露后，重新開機(jī)測(cè)量。
排除以上原因，主機(jī)重新扣入底座，儀器再次自診斷，如果故障排除，顯示“OK”，自動(dòng)進(jìn)入自校準(zhǔn)模式。
3.選擇測(cè)量模式
為了應(yīng)對(duì)不同的使用環(huán)境，YG268光澤度測(cè)量?jī)x設(shè)置了多種模式，用戶可以根據(jù)自己的需求自行選擇。
4.開始測(cè)量
測(cè)量時(shí)，將光澤度儀測(cè)量口徑緊貼待測(cè)樣品表面，不留空隙，避免外界光線的干擾。取多點(diǎn)測(cè)量，計(jì)算出光澤度測(cè)量平均值，然后根據(jù)相關(guān)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)或企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行評(píng)定，查看酸腐蝕硅片光澤度是否符合要求。
